特許

J-GLOBAL ID：200903080832395934

プラズマ重合膜の製造方法

発明者： 新城 隆 ,  湯浅 基和 ,  屋良 卓也
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-095934
公開番号（公開出願番号）：特開平10-287757
出願日： 1997年04月14日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】ヘリウムより安価なアルゴンや窒素をガス雰囲気として使用し、大気圧近傍の圧力下で放電プラズマを発生させ、不飽和アルコールのプラズマ重合を従来よりも高速に行う方法を提供する。【解決手段】大気圧近傍の圧力下で、かつアルゴン及び不飽和アルコールからなる雰囲気中で、対向する一対の電極間に電圧を印加することによりプラズマを発生させ、基材表面にプラズマ重合膜を形成する。このとき、電流密度を5〜40mA/cm2 とし、かつこの電流密度の不飽和アルコール濃度(vol%)に対する比を2.5〜80とする。また、上記アルゴンに換えて窒素としてもよく、この場合、電流密度を10〜120mA/cm2 とし、かつこの電流密度の不飽和アルコール濃度(vol%)に対する比を5.0〜240とする。

請求項（抜粋）：

大気圧近傍の圧力下において対向する一対の電極間に電圧を印加することによりプラズマを発生させ、基材表面にプラズマ重合膜を形成する方法であって、アルゴン及び不飽和アルコールからなる雰囲気中で、電流密度を5〜40mA/cm2 とするとともに、当該電流密度の上記不飽和アルコール濃度(vol%)に対する比を2.5〜80とすることを特徴とするプラズマ重合膜の製造方法。

IPC (4件)：

C08J 7/04 ,  C08J 7/00 306 ,  C23C 14/12 ,  H05H 1/00

FI (4件)：

C08J 7/04 Z ,  C08J 7/00 306 ,  C23C 14/12 ,  H05H 1/00