特許
J-GLOBAL ID：200903080836625020

圧電振動子及び圧電発振器とこれに用いる圧電振動素子の製造方法

発明者：
川内 修

川内 修 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-259039
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091866
出願日： 1998年09月11日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：
【要約】【課題】 圧電振動片の製造が容易で、小型化しても性能が低下することがない圧電振動素子の製造方法と、このような製造方法による圧電振動素子を用いた圧電振動子を提供すること。【解決手段】 圧電材料でなるウエハ10からフォトリソグラフィにより同時に複数の圧電振動片12を形成し、各圧電振動片に対してフォトリソグラフィにより複数の電極13,14を形成する圧電振動素子の製造方法であって、前記ウエハからフォトリソグラフィにより同時に複数の圧電振動片を形成する際に、各圧電振動片に関して、この圧電振動片とウエハとをつなぐ連結部15を前記複数の電極の間に電極の数以上形成し、前記複数の電極形成後に前記連結部を折取ることによりウエハ10から圧電振動素子11を切除する製造方法。
請求項（抜粋）：
圧電材料でなるウエハを形成し、このウエハからフォトリソグラフィにより同時に複数の圧電振動片を形成し、各圧電振動片に対してフォトリソグラフィにより複数の電極を形成する圧電振動素子の製造方法であって、前記ウエハからフォトリソグラフィにより同時に複数の圧電振動片を形成する際に、各圧電振動片に関して、この圧電振動片とウエハとをつなぐ連結部を前記複数の電極の互いに隣接する電極の間に一つ以上形成し、前記複数の電極形成後に前記連結部を折取ることによりウエハから圧電振動素子を切除することを特徴とする圧電振動素子の製造方法。
IPC (4件)：
H03H 3/02 ,  H03B 5/32 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19
FI (4件)：
H03H 3/02 C ,  H03B 5/32 H ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19 A
Fターム (12件)：
5J033BB02 ,  5J033CC04 ,  5J033EE03 ,  5J033GG03 ,  5J033GG04 ,  5J033KK01 ,  5J079AA04 ,  5J079BA43 ,  5J079HA03 ,  5J079HA07 ,  5J079HA09 ,  5J079HA22
引用特許：
審査官引用 (6件)
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