特許
J-GLOBAL ID：200903080841871951
走査形荷電粒子ビーム装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-162763
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012170
出願日： 1996年06月24日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 走査速度の変化や倍率の変化によっても、像のずれや歪みを生じない走査形荷電粒子ビーム装置を実現する。【解決手段】 フレームメモリー9における像の取り込みは、走査出力カウンタ27からの走査信号の開始と同時に始まるブランキング期間の終了後に開始され、また、このブランキング期間は、走査制御器21からの倍率や走査速度に応じて変えられるように構成されている。ここで、ブランキング期間は、走査速度が遅い場合には走査周期に対して割合を小さくされ、一方、走査速度が速い場合には走査周期に対して割合を大きくされる。
請求項（抜粋）：
走査コイルに走査信号を供給して荷電粒子ビームを試料上で走査し、試料から得られた信号を検出し、検出信号をフレームメモリーに取り込んで記憶し、記憶された信号を読み出して像を表示するようにした走査形荷電粒子ビーム装置において、クロック発生器のクロックを分周する分周器と、分周されたクロックをカウントする走査出力カウンタと、走査出力カウンタのカウント値をDA変換して走査コイルに走査信号を供給するDA変換器と、フレームメモリーでの信号の取り込みをブランキングするブランキング信号を発生するブランキング回路とを備えており、分周器におけるクロックの分周の間隔を走査速度に応じて変化させると共に、ブランキング回路からのブランキング信号の間隔と走査出力カウンタの初期値を走査速度に応じて変化させるように構成した走査形荷電粒子ビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/147
, H01J 37/153
, H01J 37/22 502
H01J 37/147 B
, H01J 37/153 B
, H01J 37/22 502 B
