特許

J-GLOBAL ID：200903080852971508

圧電体素子の製造方法、圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびプリンタ

発明者： 邱 宏 ,  角 浩二 ,  守谷 壮一 ,  島田 勝人 ,  西脇 学
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-094184
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357826
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 厚膜化が可能で圧電特性の高い圧電体素子の製造方法の提供。【解決手段】 圧電性セラミックスを構成する金属元素を含む圧電体前駆体膜4021〜4025を、材料の塗布、乾燥および脱脂後に、拡散炉により一定条件で熱処理することにより圧電体薄膜を結晶化させる。この方法によればクラックを生じさせることなく、圧電体薄膜を厚く形成することが可能である。

請求項（抜粋）：

電気機械変換作用を示す圧電体素子の製造方法において、圧電性セラミックスを構成する金属元素を含む圧電体前駆体膜を拡散炉により熱処理することにより圧電体薄膜を結晶化させることを特徴とする圧電体素子の製造方法。

IPC (5件)：

H01L 41/24 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (4件)：

H01L 41/22 A ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 Z

Fターム (22件)：

2C057AF55 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG48 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP16 ,  2C057AP25 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 圧電体薄膜素子、その製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-245353   出願人：セイコーエプソン株式会社