特許
J-GLOBAL ID：200903080856504980
基板をマスキングするための装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-093775
公開番号（公開出願番号）：特開平10-060625
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：
【要約】【課題】 CD等の基板を適切にマスキングしてスパッタリングを行うことができる装置を低コストで提供する。【解決手段】 本発明は、スパッタリング陰極2を備えた、基板27をマスキングし若しくはカバーする装置に関する。この装置は、基板27をカバーする中央マスク26がその上に配置された中央マスク案内要素56を有している。前記中央マスク26は、基板27のカバーされていない部分57だけがコーティング工程の間にコーティングされるように外側マスク4と協動する。前記外側マスク4および/または中央マスク26は、互いに独立して長手方向に延びる中心軸58の方向に位置調整される。
請求項（抜粋）：
スパッタリング陰極(2)のために基板(27)をマスキングするための装置であって、基板(27)を覆う中央マスク(26)がその上に配置された中央マスク案内要素(56)を有し、基板(27)の覆われていない部分(57)だけがコーティング工程の間にコーティングされるように前記中央マスク(26)と外側マスク(4)とが協動する装置において、前記外側マスク(4)および/または中央マスク(26)が、互いに独立して位置調整可能となっていることを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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