特許

J-GLOBAL ID：200903080864654710

高出力レーザ用狭線幅化モジュール

発明者： スタム,ウーベ
出願人/特許権者： ランブダ フィジク アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-533604
公開番号（公開出願番号）：特表2003-513437
出願日： 2000年10月26日
公開日（公表日）： 2003年04月08日
要約：

【要約】エキシマまたは分子フッ素レーザは共振器によって囲まれたゲイン媒体を含み、また共振器内のプリズムビーム拡大器と1つ以上のエタロンおよび/または回折格子またはグリズムを含むことが好ましい狭線幅化モジュールを含む。プリズムとエタロンのプレートとを含む狭線幅化モジュールの透過部分の材料は、248nmの入射放射線で5x10-3/cm未満、193nmの入射放射線で10x10-3/cm未満、また157nmで0.1/cm未満の吸収係数を有する材料を含む。この材料はまた2.0W/m°Cよりも大きな熱伝導率を有することが好ましい。

請求項（抜粋）：

エキシマあるいは分子フッ素レーザであって、 レーザガス混合物を収容する放電チャンバと、 前記放電チャンバ内の複数の電極であって、少なくとも1kHzの繰返し率で前記ガス混合物に電圧を印加するためのパルスパワー回路に結合された複数の電極と、 レーザビームを発生するための共振器と、を具備し、 前記共振器は、1対のプレートを有する少なくとも1つのエタロンと、バルク屈折材料を含む少なくとも1つのビーム拡大プリズムとを含む、前記レーザビームの出力放出帯域幅を低減するための狭線幅化および/またはライン選択光学装置を備え、また前記プレートおよび前記バルク屈折材料は、前記帯域幅が実質的に0.6pm未満に低減され、また狭線幅化された出力ビームの波長は実質的に0.1pm未満の波長安定性を示すように、248nmの入射放射線で5x10-3/cm未満の、193nmの入射放射線で10x10-3/cm未満の、そして157nmの入射放射線で0.1/cm未満の吸収係数を有する材料から形成されるエキシマあるいは分子フッ素レーザ。

IPC (2件)：

H01S 3/225 ,  H01S 3/13

FI (2件)：

H01S 3/13 ,  H01S 3/223 E

Fターム (34件)：

5F071AA04 ,  5F071AA06 ,  5F071FF09 ,  5F071GG04 ,  5F071GG05 ,  5F071HH02 ,  5F071HH08 ,  5F071JJ04 ,  5F071JJ06 ,  5F071JJ07 ,  5F071JJ10 ,  5F072AA04 ,  5F072AA06 ,  5F072FF09 ,  5F072GG04 ,  5F072GG05 ,  5F072HH02 ,  5F072HH08 ,  5F072JJ04 ,  5F072JJ06 ,  5F072JJ07 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK01 ,  5F072KK06 ,  5F072KK07 ,  5F072KK08 ,  5F072KK18 ,  5F072KK30 ,  5F072MM08 ,  5F072PP10 ,  5F072SS06 ,  5F072YY08 ,  5F072YY09 ,  5F072YY20