特許

J-GLOBAL ID：200903080869199523

パッドレス研磨定盤及び方法

発明者： 谷 泰弘 ,  横井 紀昭
出願人/特許権者： 日本ミクロコーティング株式会社
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-191646
公開番号（公開出願番号）：特開2003-089055
出願日： 2002年07月01日
公開日（公表日）： 2003年03月25日
要約：

【要約】【課題】 研磨スラリー中の弾性粒子を定盤表面にわたって均一に安定して保持でき、長時間使用しても研磨スラリー中の硬質粒子により研磨され難いパッドレス研磨定盤及び方法を提供することである。【解決手段】 弾性粒子31とこの弾性粒子31よりも小さい平均粒径の硬質粒子32とを混入した研磨スラリーを使用して、弾性粒子31に仮付着した硬質粒子32で研磨対象物Wの表面を研磨するパッドレス研磨に用いる定盤10。この定盤10は、硬質粒子32に対して耐摩耗性のある表層部12を有し、この表層部12の表面が、弾性粒子31を保持する粗面を有する。パッドレス研磨中、粗面に保持された弾性粒子31の表面に硬質粒子32が仮付着する。表層部12の粗面の表面粗度は、弾性粒子31の平均粒径の1/5〜2/3の範囲にある。

請求項（抜粋）：

弾性粒子とこの弾性粒子よりも小さい平均粒径の硬質粒子とを混入した研磨スラリーを使用するパッドレス研磨に用いる定盤であって、前記硬質粒子に対して耐摩耗性のある表層部を有し、この表層部の表面が、前記弾性粒子を保持する粗面を有し、前記パッドレス研磨中、前記表層部の前記粗面に保持された前記弾性粒子の表面に、前記硬質粒子が仮付着する、定盤。

IPC (4件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24B 37/04 A ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 622 D ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058CB05 ,  3C058DA02