特許

J-GLOBAL ID：200903080873827440

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム

発明者： 沢辺 賢 ,  石丸 敏明 ,  小林 明洋
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-144765
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140650
出願日： 1993年06月16日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 金属表面との密着性、耐めっき性、可とう性、レジスト形状、剥離性などに優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供する。【構成】 環状アルコキシポリアルキレングリコール(メタ)アクリレート、カルボキシル基含有ビニル単量体及び他のビニル単量体を共重合して得た高分子化合物、エチレン基を2個以上含む光重合性不飽和化合物及び光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物と前記組成物の層を支持体フィルム上に積層した感光性エレメント。

請求項（抜粋）：

(A)(a)一般式(I)【化1】〔式中、R1は水素原子、ハロゲン原子又は低級アルキル基を表し、R2は炭素原子数1〜5のアルキレン基を表し、R3は【化2】又は【化3】を表し、R4は水素原子、ハロゲン原子又は低級アルキル基を表し、nは1〜23の整数である〕で示される単量体5重量部〜85重量部(b)カルボキシル基を含むビニル単量体15〜30重量部及び(c)上記(a)及び(b)成分以外のビニル単量体0〜80重量部を(a)、(b)及び(c)成分の総量が100重量部となる量で共重合して得られる高分子化合物、(B)エチレン基を少なくとも2個含有する光重合性不飽和化合物並びに(C)光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/18