特許
J-GLOBAL ID:200903080875711562
光ヘッド及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森下 武一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-103000
公開番号(公開出願番号):特開2000-298872
出願日: 1999年04月09日
公開日(公表日): 2000年10月24日
要約:
【要約】【課題】 スペース効率のよいファイバプローブを使用した光ヘッドを得ること、及びプローブ先端とそのホルダとが高精度に組み合わされ、量産に適した光ヘッドの製造方法を得ること。【解決手段】 ファイバプローブ21の先端部はホルダ25に対して傾斜して突入した状態で固定され、先端の微小開口22はホルダ底面25aと略同じ面内に位置している。この光ヘッドはホルダの底面とファイバの先端とをエッチング液に浸漬させて同時にエッチング加工し、さらに、ファイバの先端部分のみを選択的にエッチングすることで作製される。
請求項(抜粋):
ファイバプローブの先端部をホルダに固定した光ヘッドにおいて、前記ファイバプローブの先端部が前記ホルダに傾斜して突入した状態で固定されており、かつ、該ファイバプローブの先端平坦面がホルダの底面に対して平行に設定されていることを特徴とする光ヘッド。
IPC (3件):
G11B 7/135
, G01N 13/14
, G11B 7/22
FI (3件):
G11B 7/135 Z
, G01N 37/00 E
, G11B 7/22
Fターム (10件):
5D119AA22
, 5D119BA01
, 5D119CA06
, 5D119JA35
, 5D119JA36
, 5D119JA64
, 5D119JA70
, 5D119JC05
, 5D119MA06
, 5D119NA01
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