特許
J-GLOBAL ID：200903080876930756
研磨シミュレーション
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-233520
公開番号（公開出願番号）：特開平11-074235
出願日： 1997年08月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 研磨の進行にしたがって基板の段差形状が変化するので、研磨シミュレーションでは研磨レートパラメータを更新しつつ計算を行う必要があるため、膨大な計算時間を要し、複雑な凹凸形状を有する基板の解析が困難であった。【解決手段】 基板11上の凹凸を研磨によって平坦化する際に、基板11の凸部12による研磨クロス21の変形形状が円錐台Tc状になると仮定してこの研磨クロス21の変形量を求め、その研磨クロスの変形量に基づき研磨圧力の分布を求め、さらにその研磨圧力の分布から一定時間後の研磨量の分布を求め、そして一定時間後の研磨量の分布から基板の高さ分布を求め、その基板の高さ分布から基板の段差を求める式を与える研磨シミュレーションである。
請求項（抜粋）：
基板上の凹凸を研磨によって平坦化する際に、前記基板の凸部による研磨クロスの変形形状が円錐台状になると仮定して該研磨クロスの変形量を求める工程と、前記研磨クロスの変形量に基づき研磨圧力の分布を求める工程と、前記研磨圧力の分布から一定時間後の研磨量の分布を求める工程と、一定時間後の研磨量の分布から基板の高さ分布を求める工程とを備え、前記基板の高さ分布から基板の段差を求める式を与えることを特徴とする研磨シミュレーション。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, B24B 1/00
, B24B 37/04
H01L 21/304 321 E
, B24B 1/00 A
, B24B 37/04 D
