特許

J-GLOBAL ID：200903080888313752

スクリーン版の制作方法および配線基板

発明者： 黒木 喬 ,  石原 昌作 ,  岡本 正英 ,  桐ヶ谷 雅人
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-005369
公開番号（公開出願番号）：特開平11-198336
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】【課題】印刷配線幅50μm以下の印刷で、断線、欠け、ニジミのないスクリーン版の制作と配線基板の制作。【解決手段】プラスチックフィルム(13)にNiまたはNi?Coのめっき膜でメッシュ(6)を形成し、スクリーン版を制作し、セラミック基板ウェハーあるいは、ポリイミドのフレキシブル基板に断線、欠けおよび印刷ニジミのない印刷を行い配線基板を制作する。

請求項（抜粋）：

プラスチックフィルムの表面を粗面化する工程、粗面化した表面に無電解めっきする工程、ホトレジストでメッシュおよび印刷パターンを形成したのち電気ニッケルめっきする工程、さらに印刷パターン側からレーザー光線を照射し印刷パターン部分のホトレジストおよびプラスチックフィルムを除去することを特徴とするスクリーン印刷版の制作方法。

IPC (3件)：

B41C 1/14 101 ,  G03F 7/12 ,  H05K 3/12 610

FI (3件)：

B41C 1/14 101 ,  G03F 7/12 ,  H05K 3/12 610 P