特許
J-GLOBAL ID：200903080896445960
荷電粒子ビーム装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-007919
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203461
出願日： 1995年01月23日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【構成】荷電子ビーム装置本体とベースプレートの間に防振具を設置する。【効果】音等の外乱で共振して発生したベースプレートの振動が荷電子ビーム装置本体に伝わることを防振具によって遮断することができ、音等の外乱に強い荷電子ビーム装置となる。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームカラムと、ステージを内蔵した試料室と、前記荷電粒子ビームカラムと前記試料室を真空排気する排気装置から構成される荷電粒子ビーム装置本体と荷電粒子ビーム装置本体を搭載するベースプレートと、前記ベースプレートを支持する架台とからなる装置において、前記荷電粒子ビーム装置本体と前記ベースプレートの間および前記ベースプレートと架台の間の2箇所に振動を遮断するための防振具を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
