特許
J-GLOBAL ID：200903080897501430
薄膜型変位センサーを設けたカンチレバー
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-180534
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035540
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 信頼性の高い圧電薄膜型変位センサー付きカンチレバーを提供する。【構成】 鉛系強誘電薄膜をカンチレバー上に結晶学的に配向させて成膜することにより、分極しなくても圧電効果が得られる。
請求項（抜粋）：
可撓性プレートとその先端付近に固定された針状チップとからなり、前記可撓性プレート上に下部電極、圧電特性を持つ鉛系強誘電体中間層、及び上部電極からなる薄膜型変位センサーを取り付けたカンチレバーにおいて、前記強誘電体中間層が結晶学的に配向したものであることを特徴とするカンチレバー。
IPC (2件)：
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