特許
J-GLOBAL ID:200903080898898708

洩れ検査装置の温度測定方法及びこの温度測定方法を用いて温度補正する洩れ検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 草野 卓 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-275104
公開番号(公開出願番号):特開2000-105165
出願日: 1998年09月29日
公開日(公表日): 2000年04月11日
要約:
【要約】【課題】 被検査体に空気圧を印加し、その印加した空気圧が所定の時間一定値を維持するか否かにより被検査体に洩れがあるか否かを検査する洩れ検査装置において、被検査体が持つ温度によって空気が膨張、又は収縮することによって発生するドリフト値を正確に算出する温度測定法方を提案する。【解決手段】 被検査体に空気圧を印加する加圧通路及び排気通路に温度センサを装着し、この温度センサにより加圧時の空気の温度と排気時の空気の温度を測定し、この温度差からドリフト補正値を算出する。
請求項(抜粋):
被検査体に正又は負の空気圧を与え、この空気圧が一定値を維持するか否かを測定して被検査体に洩れが有るか否かを検査する洩れ検査装置において、上記被検査体に空気圧を与える加圧通路及び、上記被検査体に与えた空気圧を被検査体から開放する排気通路に温度センサを装着し、この温度センサによって加圧時に上記被検査体に与える空気の温度及び上記被検査体から開放される空気の温度をそれぞれ測定することを特徴とする洩れ検査装置の温度測定方法。
FI (2件):
G01M 3/26 A ,  G01M 3/26 K
Fターム (5件):
2G067BB28 ,  2G067DD02 ,  2G067DD03 ,  2G067DD08 ,  2G067EE10
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭59-206737
  • 特開平4-132926
  • 特開昭64-044824

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