特許
J-GLOBAL ID：200903080899587277
カラーフィルタ用の着色層の形成方法および該方法に用いられる露光用マスク、カラーフィルタ基板及び液晶表示素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-121473
公開番号（公開出願番号）：特開2005-202345
出願日： 2004年04月16日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】近接露光法を用いたフォトリソグラフィー法により、近年の液晶表示装置の視認性改善に伴う、カラーフィルタとして着色層への12μmΦ以下の微細開口形成に、対応できるカラーフィルタ用の着色層の形成方法を提供する。【解決手段】着色層形成用のネガ型の感光性組成物をカラーフィルタ形成用基板に配設した後、所定の着色層形成用のパターンを有する露光用マスクを用いて着色層形成用の露光を行い、更に、現像して、円形状の開口を設けた着色層を得るものであり、前記露光用マスクの所定の着色層形成用のパターンは、着色層に1つの円形状の開口を設けるための単位の遮光パターンとして、露光光を透過させる開口領域中に露光光を遮光する単位の非円形状の遮光部を配設したもので、前記露光用マスクを用いて露光を行うもので、前記着色層開口用パターン部が露光された領域に、現像後に円形状の開口が形成されるものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
近接露光法を用いたフォトリソグラフィー法により、カラーフィルタ用の着色層を、円形状の開口を設けた状態で、カラーフィルタ形成用基板に形成する方法であって、着色層形成用のネガ型の感光性組成物をカラーフィルタ形成用基板に配設した後、露光用マスクの絵柄が忠実に転写される正規の近接露光位置から露光ギャップを更に広げ、前記着色層形成用のネガ型の感光性組成物に対し、所定の着色層形成用のパターンを有する露光用マスクを用いて着色層形成用の露光を行い、更に、現像して、円形状の開口を設けた着色層を得るものであり、前記露光用マスクの所定の着色層形成用のパターンは、着色層に1つの円形状の開口を設けるための単位の遮光パターンとして、露光光を透過させる開口領域中に露光光を遮光する単位の非円形状の遮光部を配設したもので、且つ、前記着色層形成用のネガ型の感光性組成物に対し、前記露光用マスクを用いて露光を行うもので、前記着色層開口用パターン部が露光された領域に、現像後に円形状の開口が形成されるものであることを特徴とするカラーフィルタ用の着色層の形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BA43
, 2H048BB02
, 2H048BB06
, 2H048BB42
, 2H091FA02Y
, 2H091FA34Y
, 2H091FB04
, 2H091FC10
, 2H091FC13
, 2H091KA10
, 2H091LA12
, 2H091LA15
, 2H091LA16
