特許
J-GLOBAL ID：200903080904558442
薄膜サーマルヘッド及びその製造方法並びにこれを用いた画像形成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057295
公開番号（公開出願番号）：特開2000-255088
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：
【要約】【課題】 印画率の違いによる摩擦抵抗の変動を小さくし、印画画質の向上を図ることができる薄膜サーマルヘッド及びその製造方法並びにこれを用いた画像記録装置を提供する。【解決手段】 基板41上に少なくとも抵抗発熱層43、導体層44を順次積層し、導体層44、抵抗発熱層43をエッチングして複数の発熱素子40を形成し、発熱素子40及び発熱素子40同士の間の表面を保護層45で覆った薄膜サーマルヘッドにおいて、発熱素子40上の保護層45の上面より、発熱素子40同士の間の保護層45の上面を、0.3μm以上低く形成した。また、このサーマルヘッドは、導体層44及び抵抗発熱層43をエッチングにより部分的に除去して複数の発熱素子40を形成した後、この除去工程によって発熱素子40同士の間で露出した抵抗発熱層43の下層を、エッチングにより除去することで得られる。
請求項（抜粋）：
基板上に少なくとも抵抗発熱層、導体層、保護層を順次積層して形成された複数の発熱素子により、記録材料に対して記録を行う薄膜サーマルヘッドにおいて、前記発熱素子上の前記保護層の上面より、発熱素子同士の間の前記保護層の上面を0.3μm以上低く形成したことを特徴とする薄膜サーマルヘッド。
FI (2件)：
B41J 3/20 111 F
, B41J 3/20 111 H
2C065AF02
, 2C065GA01
, 2C065JF00
, 2C065JF02
, 2C065JF04
, 2C065JH05
, 2C065JH06
, 2C065JH07
, 2C065JH08
, 2C065JH10
, 2C065JH11
