特許
J-GLOBAL ID：200903080906660767
プラズマディスプレイパネルの成膜装置、該パネルの製造方法及びプラズマ表示装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西村 征生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-286319
公開番号（公開出願番号）：特開2005-056673
出願日： 2003年08月04日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】 大きさの異なる基板に成膜する場合に成膜室内を大気開放することなく搬送具の開口幅を調整することができ、かつ成膜室の動作を立ち上げるのに多大な時間的ロスを発生させない。【解決手段】 開示されるPDPの成膜装置10は、基板搬送手段14が、保護膜の成膜領域を確保するための開口部6Aを有するトレイ6と、開口部6Aの開口幅6Wを調整可能な上段の一対の防着板15A、15Bと、下段の一対の防着板16A、16Bと、各防着板15A、15B、16A、16Bの移動動作を成膜室2の外部から制御する駆動源28A、28B、29A、29Bと、各防着板15A、15B、16A、16Bの移動距離を表示するゲージ(計測手段)51A、51B、52A、52Bとを備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
互いに平行に走査電極と維持電極とから成る行電極が内面に配置され、該行電極を被覆するように誘電体層が形成された基板を所定方向に搬送して、該基板の内面を保護するための保護膜を形成する成膜室を備え、該成膜室内に前記基板を前記所定方向に搬送する基板搬送手段が設けられて成るプラズマディスプレイパネルの成膜装置であって、
前記基板搬送手段は、前記基板を載置して前記所定方向に搬送する搬送具と、該搬送具に前記基板の大きさに応じて前記保護膜の成膜領域を確保するための開口部を設定し、かつ前記搬送方向と直交する方向に移動して前記開口部の開口幅を調整可能な対の防着板と、該防着板の移動動作を前記成膜室の外部から制御する駆動源と、前記対の防着板の移動距離を表示する計測手段と、
を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの成膜装置。
IPC (4件)：
H01J9/02
, C23C14/00
, C23C14/56
, H01J11/02
H01J9/02 F
, C23C14/00 B
, C23C14/56 G
, H01J11/02 B
4K029BD00
, 4K029DA10
, 4K029KA01
, 4K029KA02
, 4K029KA03
, 5C027AA07
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GE07
, 5C040GE08
, 5C040GE09
, 5C040JA07
, 5C040JA34
, 5C040MA26
