特許

J-GLOBAL ID：200903080924812892

半導体基板用プラズマ表面処理装置におけるラジアルラインスロットアンテナの構造

発明者： 村川 栄祐 ,  田中 健司
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 石井 暁夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-089285
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286240
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 半導体基板の表面処理に際して、その表面との間にマイクロ波によるプラズマを発生させるラジアルラインスロットアンテナにおいて、そのアンテナガイド2内の誘電体板6の下面側に配設したスロット板7における熱膨張による歪み変形を阻止して、表面処理の均一化を図る。【解決手段】 前記スロット板7のうち少なくとも前記アンテナガイド2に対する取付け部の内側の部分に、これよりも外側部分と内側部分とを繋ぐ変形可能な細幅片11aを残すように抜き孔11bを穿設して成る膨張吸収部11を、全周にわたって環状に延びるように設けて、内側における熱膨張が外側にまで及ばないようにする。

請求項（抜粋）：

下面に偏平状の凹所を形成した金属製のアンテナガイドと、その凹所内に装填した円盤型の誘電体板と、この誘電体板の下面側に外周縁部を前記アンテナガイドに取付けるように配設した金属製のスロット板とから成り、前記アンテナガイドに、マイクロ波を導入する導波管を接続して成るラジアルラインスロットアンテナにおいて、前記スロット板のうち少なくとも前記アンテナガイドに対する取付け部の内側に隣接する部分に、これよりも外側部分と内側部分とを繋ぐ変形可能な細幅片を残すように抜き孔を穿設して成る膨張吸収部を、全周にわたって環状に延びるように設けたことを特徴とする半導体基板用プラズマ表面処理装置におけるラジアルラインスロットアンテナの構造。

IPC (5件)：

H01L 21/3065 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

FI (5件)：

H01L 21/302 B ,  C23C 16/50 E ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 C

Fターム (18件)：

4K030CA04 ,  4K030FA02 ,  4K030KA15 ,  4K057DM16 ,  4K057DM29 ,  4K057DN01 ,  5F004AA00 ,  5F004AA01 ,  5F004BA16 ,  5F004BB11 ,  5F004BB14 ,  5F004BC08 ,  5F045AA09 ,  5F045BB01 ,  5F045BB02 ,  5F045BB03 ,  5F045EH02 ,  5F045EH03