多孔性物質

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千田稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-147935
公開番号（公開出願番号）：特開2003-141956
出願日： 2002年05月22日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】絶縁物質の低誘電率化の為、クローズドセル多孔性誘電物質を提供する。更に、この多孔性フィルムを使用した集積回路の製造方法も提供する。【解決手段】B-ステージ誘電物質中に、除去可能な特定粒径のポリマーポロゲン粒子を分散させる工程、Bステージ誘電物質を硬化する工程、次に、特定粒径のポリマーポロゲン粒子を熱分解で除去する工程からなる多孔性誘電物質を製造方法。30%以上の細孔構造を持たせる事により、目的とする多孔性誘電物質が得られる。

請求項（抜粋）：

電子装置の製造における使用に適したクローズドセル多孔性誘電物質であって、複数の細孔を有し、30%以上の多孔度を有する多孔性誘電物質。

IPC (7件)：

H01B 17/56 , C08J 9/26 102 , C08J 9/26 CEZ , H01L 21/314 , H01L 21/768 , H01B 3/30 , C08L101:00

FI (7件)：

H01B 17/56 L , C08J 9/26 102 , C08J 9/26 CEZ , H01L 21/314 A , H01B 3/30 Q , C08L101:00 , H01L 21/90 N

Fターム (122件)：

4F074AA15 , 4F074AA56 , 4F074AA70 , 4F074AA74 , 4F074AA75 , 4F074AA77 , 4F074AA90 , 4F074AA97 , 4F074CB01 , 4F074CB02 , 4F074CB17 , 4F074CB22 , 4F074CC04Y , 4F074CC06X , 4F074CC22X , 4F074CC42 , 4F074DA03 , 4F074DA12 , 4F074DA24 , 4F074DA47 , 4F074DA54 , 4F074DA59 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH09 , 5F033HH11 , 5F033HH12 , 5F033HH13 , 5F033HH14 , 5F033HH17 , 5F033HH18 , 5F033HH19 , 5F033HH21 , 5F033JJ07 , 5F033JJ08 , 5F033JJ09 , 5F033JJ11 , 5F033JJ12 , 5F033JJ13 , 5F033JJ14 , 5F033JJ17 , 5F033JJ18 , 5F033JJ19 , 5F033JJ21 , 5F033KK07 , 5F033KK08 , 5F033KK09 , 5F033KK11 , 5F033KK12 , 5F033KK13 , 5F033KK14 , 5F033KK17 , 5F033KK18 , 5F033KK19 , 5F033KK21 , 5F033MM01 , 5F033PP06 , 5F033PP12 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033QQ03 , 5F033QQ04 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ13 , 5F033QQ19 , 5F033QQ37 , 5F033QQ48 , 5F033QQ74 , 5F033RR01 , 5F033RR21 , 5F033RR29 , 5F033SS22 , 5F033XX01 , 5F033XX03 , 5F033XX24 , 5F058AA10 , 5F058AC02 , 5F058AC03 , 5F058AC05 , 5F058AD04 , 5F058AD05 , 5F058AD06 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH02 , 5F058BA20 , 5F058BC02 , 5F058BC03 , 5F058BC08 , 5F058BC09 , 5F058BD04 , 5F058BD05 , 5F058BD10 , 5F058BD12 , 5F058BF46 , 5F058BH01 , 5F058BJ02 , 5G305AA06 , 5G305AA07 , 5G305AB10 , 5G305BA06 , 5G305BA18 , 5G305CA11 , 5G305CA13 , 5G305CA14 , 5G305CA21 , 5G305CA26 , 5G305CA32 , 5G305CB26 , 5G305CB28 , 5G305CC02 , 5G305CC04 , 5G305CC05 , 5G305DA22 , 5G333AA03 , 5G333AB12 , 5G333BA01 , 5G333CA03 , 5G333DA05 , 5G333DA11

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