特許

J-GLOBAL ID：200903080941234940

レーザ走査顕微鏡

発明者： 大木 裕史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-192774
公開番号（公開出願番号）：特開平5-011192
出願日： 1991年07月08日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 ピンホールを用いなくても、試料面からのピントの合った情報のみを検出し、鮮明な試料の画像を形成することのできるレーザ走査顕微鏡を得ること。【構成】 コンフォーカル型レーザ走査顕微鏡において、試料面からの戻り光の結像位置に複屈折性と2次以上の非線形光学定数を有する光学媒質を配置し、該光学媒質から発生する高調波を検出して画像を形成する検出手段を備える。

請求項（抜粋）：

レーザ光源と、該レーザ光源からの光を試料面上にスポット状に絞り込む光学系と、該レーザスポットによって試料面上を走査するための走査手段とを備えたコンフォーカル型レーザ走査顕微鏡において、前記試料面からの戻り光の結像位置に配置された複屈折性と2次以上の非線形光学定数を有する光学媒体と、該光学媒体から発生する高調波を検出して画像を形成する検出手段とを備えたことを特徴とするレーザ走査顕微鏡。