特許
J-GLOBAL ID：200903080943294614
塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-169743
公開番号（公開出願番号）：特開平10-015466
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：
【要約】【課題】 小型化を図ることができ、塗布材料を均一な厚さでディスクに塗布することも可能な塗布装置を提供する。【解決手段】 ディスク回転用モータ10の回転軸10aとノズル駆動用モーター3の回転軸3aとを大略平行に配置して、ノズル2をディスク1の塗布面と大略平行に移動させる。
請求項（抜粋）：
塗布対象ディスク(1)を回転させるディスク回転装置(10)と、塗布材料を上記ディスクに塗布する塗布ノズル(2)と、上記ディスク回転装置の回転軸(10a)と大略平行な回転軸(3a)を有するノズル駆動用回転装置(3)と、上記ノズル駆動用回転装置の回転軸による回転運動を直線運動に変換して上記ノズルを上記ディスクの径方向に直線的に移動させる回転運動変換機構(30)と、上記ノズル駆動用回転装置と、上記回転運動変換機構とを制御する制御装置(20)とを備えるようにしたことを特徴とする塗布装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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