ダイシング用テープおよびこれを用いた材料切断方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：綿貫隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-069740
公開番号（公開出願番号）：特開平6-283600
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】厚くて切断しにくい材料であっても、バラバらにせずに伸展性テープ上に保持した状態で切断が可能。【構成】伸展性テープ22に接着剤26により支持部材24を貼着したダイシング用テープ20を用い、該ダイシング用テープ20の支持部材24上に切断材料30を接着剤28により固定し、切断材料30を切断して個片に形成し、次いで伸展性テープ22を伸展させて切断した材料30の個片間に隙間をあける。

請求項（抜粋）：

伸展性テープに、切断材料固定用、かつ切り込み用の支持部材を接着剤により貼着したことを特徴とするダイシング用テープ。

IPC (3件)：

H01L 21/78 , B28D 5/00 , B28D 7/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭64-064240
LCフイルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-235580 出願人：テイーデイーケイ株式会社

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