特許
J-GLOBAL ID:200903080951782873

赤外線検出素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 成示 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-272330
公開番号(公開出願番号):特開平7-128141
出願日: 1993年10月29日
公開日(公表日): 1995年05月19日
要約:
【要約】【目的】 ノイズの低減を図る。【構成】 薄膜赤外線検出層1と、その薄膜赤外線検出層1の上下に形成された低抵抗層4,5と、その低抵抗層の上下に対になるように形成された下部電極2及び上部電極3とを有する赤外線検出部8を、少なくとも1つ形成した赤外線検出素子において、低抵抗層5の周辺部を除去した。【効果】 赤外線検出部8に付着した異物等の要因により、赤外線検出部の端面に発生するリーク電流を低減することができるので、ノイズ低減を図ることができる。
請求項(抜粋):
薄膜赤外線検出層と、その薄膜赤外線検出層の上下に形成された低抵抗層と、その低抵抗層の上下に対になるように形成された下部電極及び上部電極とを有する赤外線検出部を、少なくとも1つ形成した赤外線検出素子において、前記低抵抗層の一部が除去されていることを特徴とする赤外線検出素子。
IPC (3件):
G01J 1/02 ,  G01J 5/20 ,  H01C 7/04

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