特許
J-GLOBAL ID：200903080958264274
水晶振動子の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-183535
公開番号（公開出願番号）：特開2000-022476
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 エッチング加工により水晶ウエハー上に振動部を形成しその厚み調節により振動周波数を調節するには、全振動部の厚み調節が短時間かつ精度よくできることが望まれる。【解決手段】 試料ステージ5に載置された水晶ウエハー6は、y方向移動ステージ1でy軸(前後)方向の位置を調節し、x方向移動ステージ3でx軸(左右)方向の位置を調節し、z方向移動ステージ4でz軸(上下)方向の位置を調節することにより、周波数測定プローブ7を各振動部位置に順次調節し、試料ステージ5に設ける対向電極とプローブ7との間に位置するウエハーの振動部のアドミッタンスを計測することで各振動部の振動周波数を順次求める。プローブをライン状又は面状の多チャンネル配置とし、プローブとウエハーの間を2軸又は1軸方向に位置調節して振動周波数を求める構成も含む。
請求項（抜粋）：
エッチング加工により水晶ウエハー上に縦横に振動部を形成しかつ各振動部の厚み調節により振動周波数を調節する水晶振動子の製造装置において、試料ステージに載置した前記水晶ウエハーの各振動部位置に対し、振動周波数測定プローブを3軸方向に順次位置調節する駆動装置と、前記試料ステージに対向電極を持ち、前記駆動装置により前記対向電極と前記プローブの間に位置調節した前記各振動部のアドミッタンスを計測し、各振動部の振動周波数を求めるアドミッタンス計測装置とを備えたことを特徴とする水晶振動子の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 3/04 A
, G01R 29/22 A
