特許

J-GLOBAL ID：200903080960202073

粒子光学コンポーネントおよび粒子光学コンポーネントを含むシステム

発明者： オリバー キーンツル ,  ホルガー バイガント
出願人/特許権者： カール ツァイス シュティフトゥング トレイディング アズ カール ツァイス
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-272363
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164011
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 対称軸に関して移動される荷電粒子の線をより高い精度で操作できる磁気レンズ装置を提案する。【解決手段】 荷電粒子線のための偏向磁場を発生する磁気レンズ装置で、アセンブリの対称軸(19)に関して実質的に回転対称で、その磁界を通過する粒子線に光学軸を持つ集束レンズ(7)として作用する磁界を発生する集束レンズ装置(17)と、集束レンズ装置(17)が発生する磁界に重ねられ、光学軸がアセンブリの対称軸(19)に対象に移動できるよう粒子線に作用する修正磁界を発生する軸移動装置(29)を備え、軸移動装置(29)には、少なくとも1本の軸移動コイル(31,33)に修正磁界を発生するための複数の導電巻線が設置されていることを特徴とする磁気レンズ装置。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線のための偏向磁界を提供するための磁気レンズ装置で、アセンブリの対称軸(19)に関して実質的に回転対称で、その磁界を通過する粒子線に光学軸を持つ集束レンズとして作用する磁界を発生する集束レンズ装置(5,7)、および上記集束レンズ装置(5,7)によって発生される磁界の上に重ねられ、光学軸がアセンブリの対称軸(19)に平行に移動できるよう、粒子線に作用する修正磁界を発生する軸移動装置(31,33)を備える磁気レンズ装置において、磁気移動装置(29)は、対称軸に関して同心円状に設置され、実質的に導電性がなく、高い磁気透過性を有する材料で構成され、軸方向に間隔を空けて設置されたリング(55)の第一のセット(53)を備え、少なくとも1本の軸移動コイル(31,33)には修正磁界を発生するための複数の導電巻線が設置され、軸移動コイル(31,33)の導電巻線は第一のリングセット(53)の少なくともひとつのリング(55)に巻かれていることを特徴とする磁気レンズ装置。

IPC (7件)：

H01J 37/141 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/02 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/26 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

H01J 37/141 Z ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/02 G ,  H01J 37/04 B ,  H01J 37/26 ,  H01L 21/30 541 B

Fターム (20件)：

2H097AA03 ,  2H097BA01 ,  2H097BB10 ,  2H097CA16 ,  2H097GB00 ,  2H097KA01 ,  2H097KA38 ,  2H097LA03 ,  2H097LA10 ,  5C030AA06 ,  5C030AB01 ,  5C033DD03 ,  5C033SS03 ,  5F056AA03 ,  5F056CB29 ,  5F056CB31 ,  5F056CB40 ,  5F056EA05 ,  5F056EA06 ,  5F056EA08