特許

J-GLOBAL ID：200903080963885414

感光性組成物

発明者： 近藤 俊一 ,  梅原 明 ,  青谷 能昌
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-259431
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100428
出願日： 1991年10月07日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【構成】 (a) 活性水素含有ビニルエーテル化合物とイソシアナート基を有する化合物との反応生成物であるビニルエーテル基含有化合物と、(b)活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物と、(c)アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【効果】 高い感光性を有し、かつ、広範囲の波長光の使用が可能である。

請求項（抜粋）：

(a) 活性水素含有ビニルエーテル化合物とイソシアナート基を有する化合物との反応生成物であるビニルエーテル基含有化合物と、(b) 活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する化合物と、(c) アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-330445