特許

J-GLOBAL ID：200903080967878315

欠陥検査方法および装置

発明者： 執行 義春 ,  宮本 佳幸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-054443
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215696
出願日： 1992年02月04日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：

【要約】【目的】 検査光照射装置の出力低下にかかわらず、欠陥検出感度を一定に維持する。【構成】 検査光照射装置20により検査光21をウエハ1に照射し、散乱光検出器34によりウエハの検査光の散乱光31を検出して欠陥を検査する欠陥検査方法において、検査光照射装置20から初期に照射された検査光21の初期出力値を予め測定しておき、検査光照射装置20の出力値を定期、不定期に測定し、この測定値と初期出力値とを比較し、測定出力値が初期出力値に対し劣化したと判定された場合には、劣化した量値に対応して測定出力値が初期出力値と等しくなるように検査光照射装置21に対して補正制御を実行する。【効果】 検査光照射装置20の出力値が適時増強されることにより、散乱光検出器34の検出感度が初期の検出感度に維持されるため、検査光照射装置20の経時劣化にかかわらず、散乱光検出器34の検出感度は一定に維持できる。

請求項（抜粋）：

検査光照射装置によって検査光を被検査物に照射し、散乱光検出器によって被検査物における検査光の散乱光を検出することにより、欠陥を検査する欠陥検査方法において、前記検査光照射装置から初期に照射された検査光の初期出力値を予め測定しておき、検査開始以前または開始後に検査光照射装置の出力値を定期または不定期に測定するとともに、この測定値と前記初期出力値とを比較し、測定出力値が初期出力値に対して劣化したと判定された場合には、その劣化した量値に対応して測定出力値が初期出力値と等しくなるように前記検査光照射装置および/または前記散乱光検出器に対して補正制御を実行することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-069548
  
• 特開昭57-161534
  
• 特開平3-131741