特許

J-GLOBAL ID：200903080971189028

圧電センサ、流体振動検出センサ及び流量検出回路

発明者： 宮崎 芳郎 ,  安斉 光芳 ,  岩田 正 ,  石居 真
出願人/特許権者： 矢崎総業株式会社
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-317936
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159560
出願日： 1995年12月06日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 圧電膜の固体差を調整し、特性を合わせられる圧電センサ及び流体振動検出センサ並びに回路構成が簡単で消費電力が少ない流量検出回路を提供する。【解決手段】 複数の第2電極のうち、任意数の第2電極を第2出力端子に接続して実質的な圧電体面積を変化させるので、容易に複数の圧電センサの特性を一致できる。また、対となる二つの圧電センサ2A、2Bは逆極性で接続され、両圧電センサ2A、2Bの特性を合わせ、同相成分ノイズを除去した流体振動検出信号を出力するので、ノイズの影響を低減してより正確な流量を求められる。さらに増幅手段3は流体振動検出センサ2の出力信号Sv を増幅して増幅出力信号SA として出力し、波形整形手段4は増幅出力信号SA の波形整形を行ない、比較手段5は、波形整形後の増幅出力信号電圧SFAを基準電圧と比較して出力した比較結果信号SFLに基づき流体の流量を求めことによりノイズの影響を低減して正確な流量が求まる。

請求項（抜粋）：

第1出力端子及び第2出力端子を有し、印加された圧力に対応する検出出力信号を前記第1出力端子及び前記第2出力端子を介して出力する圧電センサにおいて、平板形状を有する圧電体と、前記第1出力端子に接続され、前記圧電体の一方の面上に形成された第1の電極と、前記圧電体の他方の面上に形成された複数の第2電極と、を備え、複数の前記第2電極のうち、任意数の前記第2電極が前記第2出力端子に接続可能に構成されていることを特徴とする圧電センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/08 ,  G01F 1/20 ,  G01F 1/38

FI (3件)：

G01L 9/08 ,  G01F 1/20 E ,  G01F 1/38