弾性波センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉田研二 , 石田純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-043696
公開番号（公開出願番号）：特開2006-226942
出願日： 2005年02月21日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：

【課題】弾性波センサによる作業の簡便化の実現【解決手段】励振電極12と受信電極13との間に存在する被測定物質によって生じるセンシング用弾性波の伝搬特性の変化を利用して、被測定物質のセンシングを行う弾性波センサにおいて、被測定物質を搬送するための搬送用弾性波を励振する搬送電極15を、励振電極12及び受信電極13と同一の基板表面上に配置する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板表面に、被測定物質をセンシングするためのセンシング用弾性波を励振する励振電極と、基板表面及び表面近傍を伝搬するセンシング用弾性波を受信する受信電極と、を配置し、励振電極と受信電極との間に存在する被測定物質によって生じるセンシング用弾性波の伝搬特性の変化を利用して、被測定物質のセンシングを行う弾性波センサにおいて、被測定物質を搬送するための搬送用弾性波を励振する搬送電極を、励振電極及び受信電極と同一の基板表面上に配置したことを特徴とする弾性波センサ。

IPC (2件)：

G01N 29/24 , G01N 29/02

FI (2件)：

G01N29/24 , G01N29/02

Fターム (11件)：

2G047AA01 , 2G047AD16 , 2G047BA01 , 2G047BC04 , 2G047BC15 , 2G047CA01 , 2G047CB03 , 2G047EA12 , 2G047EA14 , 2G047EA15 , 2G047GB38

引用特許：

出願人引用 (2件)

センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-011925 出願人：株式会社クボタ
弾性表面波素子を用いたセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-206203 出願人：株式会社明電舎

審査官引用 (10件)

少量の液体を操作する方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-557516 出願人：アドヴァリティクスアーゲー
弾性表面波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-263563 出願人：セイコーエプソン株式会社
表面横波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-328566 出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー

全件表示

前のページに戻る