特許

J-GLOBAL ID：200903080981453270

ウェーハ識別文字認識システム

発明者： 石井 博行
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-095092
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288188
出願日： 1995年04月20日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】文字マーカーによる識別文字のかすれ、欠落による識別文字認識率の低下を改善することのできるウェーハ識別文字認識システムを提供する。【構成】本発明は、ウェーハマーキング装置とウェーハ識別文字認識装置により形成されており、当該ウェーハマーキング装置は、主制御装置11と、画像取込み部12と、マーキング制御部13と、標準文字パターン記憶部14と、画像記憶装置15と、外部インターフェース16と、マーキング光学部17とを備えて構成され、またウェーハ識別文字認識装置は、画像取込り部21と、画像データ変換器22と、画像メモリー23と、外部インターフェース24と、取込み文字パターン記憶部25と、比較演算部26と、結果文字出力部27と、主制御装置28とを備えて構成される。

請求項（抜粋）：

半導体装置のウェーハ上に識別文字を記載するウェーハマーキング装置と、当該識別文字の認識を行うウェーハ識別文字認識装置により形成されるウェーハ識別文字認識システムにおいて、前記ウェーハマーキング装置が、前記ウェーハ上に所定の識別文字を書込むマーキング手段と、前記マーキング手段により前記ウェーハ上にマーキングされた識別文字パターン情報を取込み、且つ当該識別文字パターン情報を記憶保持する第1のマーキングパターン取込み記憶手段と、前記第1のマーキングパターン取込み記憶手段に保持されている識別文字パターン情報を外部に出力するパターン出力手段と、前記マーキング手段および前記第1のマーキングパターン取込み記憶手段に関連する動作機能を制御する第1の制御手段と、を少なくとも備えて構成され、前記ウェーハ識別文字認識装置が、前記パターン出力手段より送られてくる前記識別文字パターン情報を入力するパターン入力手段と、前記パターン入力手段より出力される前記識別文字パターン情報を入力して記憶保持する識別文字パターン記憶手段と、前記マーキング手段により前記ウェーハ上にマーキングされた識別文字パターン情報を取込み、当該識別文字パターン情報を格納保持する第2のマーキングパターン取込み記憶手段と、前記第1のマーキングパターン取込み記憶手段より出力される識別文字パターン情報と、前記第2のマーキングパターン取込み記憶手段より出力される識別文字パターン情報とを参照して、前記マーキング手段により書込まれた識別文字に対する認識結果として得られる識別文字情報を出力する識別文字パターン認識手段と、前記識別文字パターン記憶手段、前記第2のマーキングパターン取込み記憶手段および前記識別文字パターン認識手段に関連する動作機能を制御する第2の制御手段と、を少なくとも備えて構成され、前記識別文字パターン認識手段より出力される識別文字情報を、次工程における参照用マーキングパターンとして記憶保持することを特徴とするウェーハ識別文字認識システム。