感光性レジストとカラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：米田潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-263612
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090904
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】高い体積抵抗を有するとともに、充分な光学濃度を有するブラックマトリックスの形成を可能とする感光性レジストと、このようなブラックマトリックスを備えたカラーフィルタと、このようなカラーフィルタを効率よく得ることのできる製造方法を提供する。【解決手段】光酸発生剤と多官能アルコキシシランとを含有した感光性レジストを使用して透明基板上に形成したレジスト層を所定のパターンのマスクを介して露光し、露光領域において光酸発生剤が発生した酸の作用によりポリシロキサンのネットワークが形成され、その後、現像することによりポリシロキサンを含有したブラックマトリックスを形成し、次に、ブラックマトリックスが形成されていない透明基板上に、複数色の着色パターンを順次形成し所定の色数からなる着色層を形成してカラーフィルタとする。

請求項（抜粋）：

少なくとも感光性樹脂成分と光酸発生剤と多官能アルコキシシランとを含有し、前記光酸発生剤の含有量は前記感光性樹脂成分100重量部に対して5〜20重量部の範囲であり、また、前記多官能アルコキシシランの含有量は前記感光性樹脂成分100重量部に対して5〜20重量部の範囲であることを特徴とする感光性レジスト。

IPC (4件)：

G03F 7/075 501 , C08L101/00 , G02B 5/20 101 , G03F 7/004 503

FI (4件)：

G03F 7/075 501 , C08L101/00 , G02B 5/20 101 , G03F 7/004 503 Z

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