特許
J-GLOBAL ID：200903080986132332
光学式変位センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-089990
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294214
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 発光量変動や原点検出等相対変位以外の情報に関連する信号を発生する系を、構成を複雑にすることなく付加した光学式変位センサを提供する。【構成】 発光素子からの光束を複数光束に分離、前記複数光束の内の2光束の前記回折格子による回折光を合波されて発生する干渉光を検出して前記回折格子との相対変位情報に関連する信号を出力する第1検出手段と、前記複数光束の内の他の1光束の前記回折格子による回折光、又は前記2光束の前記回折格子による他の回折光の回折光量変化に基づいて前記回折格子との相対変位情報とは別の情報に関連する信号を出力する第2検出手段とを有する。
請求項（抜粋）：
被測定物体に設けられている回折格子の変位を検出する装置で、発光素子と、該発光素子からの光束を複数光束に分離する分離光学素子と、前記複数光束の内の2光束の前記回折格子による回折光を合波するための合波光学素子と、該合波光学素子によって回折光合波されて発生する干渉光を検出して前記回折格子との相対変位情報に関連する信号を出力する第1検出手段と、前記複数光束の内の他の1光束の前記回折格子による回折光、又は前記2光束の前記回折格子による他の回折光の回折光量変化に基づいて前記回折格子との相対変位情報とは別の情報に関連する信号を出力する第2検出手段とを有することを特徴とする光学式変位センサ。
IPC (2件)：
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