特許
J-GLOBAL ID：200903080986908632
振動に感応しないプロファイル計スタイラスアセンブリ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-509311
公開番号（公開出願番号）：特表平8-502357
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】スタイラスプロファイル計は、平行で間隔を開けられた導電性のプレート(35および37)の間を移動する羽根(41)を用いた運動トランスデューサを備えたカウンタバランスされたスタイラスを有し、導電性のプレートはそこにトラップされた空気によって羽根の運動を減衰させる。羽根はプレートとともに電極を形成し、このためこの組合せはバランスされたブリッジ構成の1対のキャパシタとなる。スタイラスの運動はブリッジの平衡を失わせ、これはスタイラスの運動の程度を示す。スタイラスと関連付けられたレバーアーム(59)のチップ(57)はスタイラスをバイアスさせるかまたは測定すべき表面の力を制御する磁界によって影響を受ける。アセンブリ全体は非常に低い慣性モーメントを有し、このためスタイラスの振動の効果を減じ、装置の解像度を増し、基板への損傷を減じる。
請求項（抜粋）：
プロファイル計スタイラスアセンブリであって、 長手のスタイラスアームおよびカウンタバランスであって、アームの下に位置付けられた基板と接するように設けられた硬いスタイラスを備えた第1の端部と、第1の端部と反対側の、2枚の平行プレート間を移動する羽根を備えた第2の端部とを有するものを含み、スタイラスアームは第1および第2の端部間にピボットを有し、前記平行プレートは前記羽根とともにスタイラス変位測定トランスデューサを形成し、前記アセンブリはさらに スタイラスアームの第1の端部と関連付けられて第1の端部を前記基板と接触させるよう付勢する可変力部材を含む、プロファイル計アセンブリ。
引用特許：
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