特許
J-GLOBAL ID：200903080992549849
部材搬送システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-061599
公開番号（公開出願番号）：特開平11-254359
出願日： 1998年03月12日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：
【要約】【課題】 クラスタツールの再組立後やアームロボットの修理後における再教示作業の簡略化および動作異常の自動検出を可能とする部材搬送システムの提供。【解決手段】 各カセットモジュールチャンバ13a、bの上下面、側面にそれぞれ一対で構成される光センサ20、21が設置されてそれらの光軸がチャンバ内部の基準点で直交する。部材把持部17は光センサ21の光軸径とほぼ同じ厚さの平板で形成され、略中央位置に基準位置計測穴23が上下に穿孔され、その穴の中央点がアーム基準点24となる。この点が前記チャンバ基準点22と一致した時点で不図示の演算制御装置が接続している両光センサ20、21の検知状態を読み取り、両基準点の一致を認識する。またロボットの各駆動モータに接続されたエンコーダから演算制御装置がアーム基準点24の位置を算出し、変動前のチャンバ基準点22の位置と比較してチャンバ位置誤差またはロボット作動異常を検出する。
請求項（抜粋）：
周囲に設置されるチャンバへの処理部材の搬入出をアームロボットによって行う部材搬送システムにおいて、該アームロボットのアームに設定したアーム基準点と、該アームロボットが作動する座標系においての該アーム基準点の位置を計測するアーム基準点位置計測手段と、該アーム基準点が該チャンバ内に設定されたチャンバ基準点に一致したことを検知する基準点一致検知手段と、該チャンバ基準点と該アーム基準点が一致した時点で該アーム基準点位置計測手段により得る該アーム基準点の座標位置を元に該アームロボットの制御を行う演算制御部と、を備えることを特徴とする部材搬送システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 9/10 A
, H01L 21/68 A
