特許
J-GLOBAL ID：200903080994792287
平坦度判定方法および平坦度判定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-047842
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246617
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】 レーザ光を走査させて測定対象物の被測定面を計測するのでは、計測時間およびコストがかかった。【解決手段】 測定対象物Aの被測定面Bを撮像して、この撮像で得られた映像信号に基づいて被測定面Bの平坦度を判定する平坦度判定装置1において、被測定面Bに対して波長の異なる光を選択的に照射する照明手段20と、被測定面Bで反射した光を入射して被測定面Bの像を撮像する撮像手段30と、撮像手段30から出力された映像信号に基づいて被測定面Bの各部位がいずれの波長の光に対して最もピントが合っているか検出する検出手段50とを備えている。
請求項（抜粋）：
波長の異なる複数の光を選択的に測定対象物の被測定面に照射すると共に前記被測定面で反射した光による像を結像させて、この像の結像位置が波長によって異なることを用いて前記被測定面の平坦度を判定することを特徴とした平坦度判定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/30 101
, H05K 13/04
, H05K 13/08
G01B 11/30 101 A
, H05K 13/04 B
, H05K 13/08 K
