周期性パターン検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-133614
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318511
出願日： 1994年05月23日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】周期性パターン検査装置において、エッジ部か否かに応じて最適な欠陥検出感度で検査できるようにする。また、検査対象物に応じてエッジ部のみ又は非エッジ部のみを検査できるようにする。【構成】減算回路22により、周期性パターンの画像信号SAとそれを1周期分だけ遅延させた画像信号SBとの差分信号を生成し、これをタイミング調整回路24を経て、2値化回路26a、26bで2値化する。これらの2値化における閾値はそれぞれ独立に設定され、エッジ部か否かを示すエッジ信号Seによって2値化信号の出力が制御される。これにより、エッジ部に対応する差分信号は閾値TH1に基づいて2値化されて出力され、非エッジ部に対応する差分信号は閾値TH2に基づいて2値化されて出力される。出力された二つの2値化信号はORゲート27で合成され、その合成された信号とそれを1周期分だけ遅延させた信号との論理積の信号が欠陥信号Sdとして出力される。

請求項（抜粋）：

一定の周期で繰り返されるパターンを有する検査対象物の欠陥を検出する検査装置であって、前記パターンを表わす画像信号と前記パターンから整数周期分だけ離れたパターンを表わす画像信号との差を信号値とする差分信号を生成し、該差分信号に基づいて前記欠陥の有無を判定して、前記欠陥の有無を示す欠陥信号を出力する周期性パターン検査装置において、a)前記差分信号を所定の2種類の閾値のいずれかに基づいて2値化した信号を前記欠陥信号として出力する2値化手段と、b)前記パターンの微分画像の信号を2値化した信号をエッジ信号として出力するエッジ検出手段と、c)前記エッジ信号に基づき、前記2種類の閾値のうちいずれか一方を選択する選択手段と、を備えることを特徴とする周期性パターン検査装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭58-181175
特開昭59-192943
周期性パターンの検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-308208 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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