特許
J-GLOBAL ID：200903081009958911
気相化学反応装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-314466
公開番号（公開出願番号）：特開平8-170176
出願日： 1994年12月19日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】【構成】シャワーヘッド2のオリフィス板22のウェハと対向する面の熱輻射率の変化、すなわち、表面の光学的状態の変化を監視するためにオリフィス板22に埋設した熱電対103を用いる。【効果】ウェハの温度の均一性に大きな影響を与えるシャワーヘッドのウェハと対向する面の熱輻射率の変化を常時監視することができ、適切な時期にシャワーヘッドのウェハと対向する面の洗浄する時期を決定できるので膜厚の均一性を長期間にわたって維持できる。
請求項（抜粋）：
真空容器と、前記真空容器内に配置されたサセプタと、前記サセプタ上に配置されたウェハと、前記サセプタの上に置かれた前記ウェハを加熱あるいは冷却するためのウェハ温度制御装置、前記サセプタと対向し前記ウェハに化学反応を発生させるための反応ガスを供給するためのシャワーヘッドと、前記シャワーヘッドに反応ガスを供給するためのガス供給部と、前記ガス供給部と前記シャワーヘッドを連結するためのガス供給配管と、前記シャワーヘッドから噴出する原料ガスの組成を均一にするためのガス混合室と、前記真空容器内のガスを排気するための真空排気部と、前記真空容器と前記真空排気部とを連結する真空排気配管と、前記真空容器の圧力を調整するための圧力調整バルブと、前記ウェハを前記サセプタ上に搬出あるいは搬入するための搬送装置、前記ウェハを真空装置に搬入あるいは搬出するための予備室、前記真空容器で消費されなかった反応ガスを処理するためのガス処理部と、前記ガス処理部と前記真空排気部を連結するガス処理配管と、前記シャワーヘッドを冷却するシャワーヘッド冷却機構と、前記真空容器の壁面を冷却する真空容器壁面冷却機構とからなる気相化学反応装置において、前記シャワ-ヘッドの熱輻射率を監視する機構を備えたことを特徴とする気相化学反応装置。
IPC (4件)：
C23C 16/44
, C23C 16/46
, C23C 16/52
, H01L 21/205
