特許

J-GLOBAL ID：200903081010120123

容量式圧力センサ

発明者： 田中 昌明 ,  牧野 泰明 ,  池沢 敏哉 ,  斉藤 隆重
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (3件)： 伊藤 洋二 ,  三浦 高広 ,  水野 史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-102506
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309282
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】容量検出部と回路チップとを一体化してなる容量式圧力センサにおいて、より小型化に適したセンサ構成を提供する。【解決手段】パッケージ10とこのパッケージ10に収納された回路チップ20とを備え、回路チップ20およびパッケージ10は、これら両者が互いに離間して対向する対向面11、21を有しており、回路チップ20における対向面21に固定電極30が設けられ、パッケージ10における対向面11は、圧力Pの印加に応じて歪むダイアフラムとして構成されるとともに当該対向面11には可動電極40が設けられており、圧力Pが印加されたときにパッケージ10における対向面11が歪んで両対向面11、21の距離が変化し、この距離変化に基づく固定電極30と可動電極40との間の容量変化を検出するようにしている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

パッケージ(10)とこのパッケージ(10)に収納された回路チップ(20)とを備え、 前記回路チップ(20)および前記パッケージ(10)は、これら両者が互いに離間して対向する対向面(11、21)を有しており、 前記回路チップ(20)における前記対向面(21)に固定電極(30)が設けられ、前記パッケージ(10)における前記対向面(11)は、圧力の印加に応じて歪むダイアフラムとして構成されるとともに当該対向面(11)には可動電極(40)が設けられており、 圧力が印加されたときに前記パッケージ(10)における前記対向面(11)が歪んで前記両対向面(11、21)の距離が変化し、この距離変化に基づく前記固定電極(30)と前記可動電極(40)との間の容量変化を検出するようにしたことを特徴とする容量式圧力センサ。

IPC (1件)：

G01L9/12

FI (1件)：

G01L9/12

Fターム (7件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD09 ,  2F055EE25 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11