特許
J-GLOBAL ID:200903081014183723
真空容器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-221407
公開番号(公開出願番号):特開平9-064426
出願日: 1995年08月30日
公開日(公表日): 1997年03月07日
要約:
【要約】【目的】超電導コイル等の極低温機器を収納できる真空容器において、高真空度ならびに高真空排気速度の実現によって、真空ポンプの運転時間削減,排気能力向上および極低温機器冷却用動力費の削減をはかり経済効果の高い真空容器を提供することにある。【構成】超電導コイル等の極低温機器を収納できる主真空槽10,副真空槽20,酸化物超電導体電流リード部31,電流リード30,副真空槽20内部で酸化物超電導体電流リード部31を冷却できる電流リード冷却用冷凍機48、ならびに副真空槽20内の気体を大気中に排気できる真空ポンプ50から成る真空容器。【効果】主真空槽10の高真空度と高い排気速度が得られる。
請求項(抜粋):
超電導コイル等の極低温機器を収納できる主真空槽,前記主真空槽と真空バルブにより連結された副真空槽,大気側より副真空槽を経由し主真空槽内の極低温機器に電流を供給できる電流リード部,副真空槽内部で電流リードを冷却できる冷却機構、ならびに副真空槽内の気体を大気中に排気できる真空排気機構を併せて備えたことを特徴とする真空容器。
IPC (2件):
H01L 39/04 ZAA
, H01F 6/00 ZAA
FI (2件):
H01L 39/04 ZAA
, H01F 7/22 ZAA A
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