基板移替え装置およびそれを用いた基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164730
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012704
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】基板を破損することがなく、フェイス面同士またはバック面同士を対向させる小型の基板移替え装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。【解決手段】基板移替え部30は複数の基板のフェイス面同士またはバック面同士を対向させる際に、キャリア昇降部320が基板支持部330a,330bによって支持された複数の基板より下方においてキャリア15を昇降自在に支持する構成であるため、基板挟持部310は水平方向に待避する必要がなく、昇降するのみである。また、それにともなって、基板挟持部310は残余基板WRの間に挟持基板WCを差し込む際などに水平方向の位置決めを行う必要がない。そのため、基板挟持部310の待避空間が不要であるので、装置が小型化できるとともに、チャック312a,312bに挟持された挟持基板WCと残余基板WRとが接触するなどして基板を破損することがない。

請求項（抜粋）：

複数の基板を移替えることによって基板のフェイス面同士またはバック面同士を対向させた配列に変換する基板移替え装置であって、複数の基板を収納するキャリアの下方に設けられ、前記キャリアの下部に形成された開口を通じて前記複数の基板を支持する基板支持手段と、前記キャリアを支持するキャリア支持手段と、前記複数の基板のうちの一部の基板を挟持して、前記基板支持手段による基板支持高さと、当該基板支持高さの上方の高さとの間で前記一部の基板を昇降させる、上下方向にのみ移動自在な基板挟持手段と、を備え、前記基板支持手段および前記キャリア支持手段のうちの少なくとも一方が鉛直方向を軸として反転回動可能とされていることを特徴とする基板移替え装置。

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