特許
J-GLOBAL ID：200903081024106824

カリックスレゾルシンアレーン誘導体および感放射線性樹脂組成物

発明者：
西久保 忠臣

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工藤 宏人

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出願人/特許権者：
JSR株式会社

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学校法人神奈川大学

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代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-133996
公開番号（公開出願番号）：特開2003-321423
出願日： 2002年05月09日
公開日（公表日）： 2003年11月11日
要約：
【要約】【課題】フィルムの作製時のキャスト溶媒に対する溶解性に優れ、かつレジストに要求される基本性能を満たすカリックスレゾルシンアレーン誘導体およびこの誘導体を用いた感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。【解決手段】 下記式(1)で示されるカリックスレゾルシンアレーン誘導体。【化1】式中、R1は炭素数1〜18のアルキル基またはヒドロキシフェニル誘導体で示される基を表し、nは4〜12の整数、mはR1が炭素数1〜5のアルキル基のとき1または2であり、R1が炭素数6〜18のアルキル基のとき0〜2の整数である。
請求項（抜粋）：
下記式(1)で示されるカリックスレゾルシンアレーン誘導体。【化1】(式中、R1は炭素数1〜18のアルキル基または下記式(2)で示される基を表し、nは4〜12の整数、mはR1が炭素数1〜5のアルキル基のとき1または2であり、R1が炭素数6〜18のアルキル基または下記式(2)で示される基のとき0〜2の整数を表す。)【化2】(式中、R2は水素原子または炭素数1〜5のアルコキシル基を表し、pは0〜2の整数を表す。)
IPC (4件)：
C07C 69/712 ,  C08G 61/02 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
C07C 69/712 Z ,  C08G 61/02 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (15件)：
2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AB46 ,  4H006BJ50 ,  4H006BP30 ,  4J032CB01 ,  4J032CB12 ,  4J032CG01
引用文献：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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