特許

J-GLOBAL ID：200903081024400056

積層型圧電素子

発明者： 井元 保雄 ,  大川 康夫
出願人/特許権者： ブラザー工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-068494
公開番号（公開出願番号）：特開平6-283776
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】 アクチュエータとして用いる積層型圧電素子において、内部電極の一層おきの接続工程を簡略化するとともに、短絡等の接続不良を防止する。【構成】 圧電材料膜11と内部電極12とを交互に積層した圧電素子において、側面に露出した内部電極12の端部に一層おきにニッケルメッキからなる導電性凸部16を形成し、その上から連続して全ての圧電材料膜11にかかる異方性導電膜13を形成し、その異方性導電膜13を該凸部16によって部分的に加圧し、選択的に導電部13aとすることにより、異方性導電膜13上の銅箔(外部電極)15と導電性凸部16ひいては内部電極12とを導電部13aを介して電気的に接続する。

請求項（抜粋）：

圧電材料と内部電極とが交互に積層されている積層型圧電素子であって、その積層型圧電素子の側面に露出する内部電極の端部に形成された導電性凸部と、積層型圧電素子の側面上に連続して形成されるとともに、選択的に導電性を持つ異方性導電膜と、その異方性導電膜上に連続して形成されるとともに、前記導電性凸部と異方性導電膜を介して電気的に接続された外部電極とを備えたことを特徴とする積層型圧電素子。