特許
J-GLOBAL ID：200903081028988210
基板冷却装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-326105
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153678
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 加熱された基板を均一に冷却し面内均一性の良いレジスト感度を得る基板冷却装置を提供することおよび冷却速度の早い基板冷却装置を提供することである。【構成】 基板載置手段と緩衝板を備えた気体ノズルと被処理基板に平行に配設した整流板とからなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板載置手段と緩衝板を備えた気体ノズルと被処理基板に平行に配設した整流板とからなることを特徴とした基板冷却装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/38 511
