特許
J-GLOBAL ID：200903081029491548
欠陥検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-144402
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340888
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 被検査体の濃淡画像による欠陥検出において、背景画像との濃度差が微妙な欠陥候補部位を、目視検査と同様に検出できる欠陥検出方法を提供する。【構成】 濃淡画像の各画素の濃度データの濃度別頻出度から背景画像濃度値を設定する背景画像濃度値設定工程#2と、濃淡画像上で、画素の濃度データと前記背景画像濃度値との濃度差が任意に設定した濃度差閾値を越える画素が隣接して存在する欠陥候補部位を検出する欠陥候補部位検出工程#3と、検出された各欠陥候補部位において、各欠陥候補部位の各画素の濃度差を任意の演算方法で演算し、これらの演算結果を集計した評価値を演算する評価値演算工程#4と、この評価値の演算方法に対応する第1評価閾値を設定する第1評価閾値設定工程#5と、評価値を第1評価閾値と比較して欠陥部位を検出する第1欠陥部位検出工程#6とを有する。
請求項（抜粋）：
被検査体を撮像して得られる濃淡画像の各画素の濃度データから、前記被検査体表面に現れている欠陥部を検出する欠陥検出方法において、前記濃淡画像の各画素の濃度データの濃度別頻出度から背景画像濃度値を設定する背景画像濃度値設定工程と、前記濃淡画像上で、画素の濃度データと前記背景画像濃度値との濃度差が任意に設定した濃度差閾値を越える画素が隣接して存在する欠陥候補部位を検出する欠陥候補部位検出工程と、検出された各欠陥候補部位において、各欠陥候補部位の各画素の前記濃度差を任意の演算方法で演算し、これらの演算結果を集計した評価値を演算する評価値演算工程と、この評価値の演算方法に対応する第1評価閾値を設定する第1評価閾値設定工程と、前記評価値を第1評価閾値と比較して欠陥部位を検出する第1欠陥部位検出工程とを有することを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G06F 15/62 405
, G06F 15/64
, G06F 15/68 310
