特許
J-GLOBAL ID：200903081041243207
狭帯域化発振放電励起レーザ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047630
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252572
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 従来の構成では、狭帯域化放電励起レーザの共振器中にファブリペローエタロンを設置する際に、そのギャップ間隔のばらつきが考慮されていない。そのため波長スペクトルがビーム面内で無視できない分布をもち、波長スペクトルが広がってしまう。【解決手段】 波長選択素子として少なくとも1個のエタロン106a、106bを使用した波長スペクトルを狭帯域化する放電励起型レーザにおいて、エタロン106a、106bのギャップ間隔601のばらつき分布がもっとも小さくなるように設置する。これにより、ビーム面内での波長スペクトルの均一性を向上し、波長スペクトル半値幅を低減すると同時に、レーザ装置毎の波長スペクトル半値幅のばらつきを低減して、レーザ装置量産時のビーム品質の均一性の向上が図られる。
請求項（抜粋）：
波長スペクトルを狭帯域化するための波長選択素子として少なくとも1個のファブリぺローエタロンを含む放電励起型レーザの共振器において、前記ファブリペローエタロンそれぞれについて、ビームが透過する領域内でのギャップ間隔の最大値と最小値の差がもっとも小さくなるように前記エタロンを設置することを特徴とする放電励起レーザ。
Fターム (9件)：
5F072AA06
, 5F072HH02
, 5F072JJ05
, 5F072JJ13
, 5F072KK01
, 5F072KK03
, 5F072KK08
, 5F072MM19
, 5F072YY09
