特許
J-GLOBAL ID：200903081043106649
フローセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-042977
公開番号（公開出願番号）：特開2003-240618
出願日： 2002年02月20日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：
【要約】【課題】 歩留りよく絶縁膜の膜厚を十分に薄くすることにより伝熱効率を高め、センサの感度や応答性を向上させる。【解決手段】 センサボディ2とセンサチップ3とで被測定流体7の流路8を形成する。センサチップ3の流路8側とは反対側の面に電気絶縁膜13を介して流速検出手段12と周囲温度検出手段16を形成する。センサチップ3は、通常の溶解法によって溶解・鋳造された鋼塊を真空誘導溶解法によって溶解・鋳造し、さらに真空アーク再溶解法によって溶解・鋳造することにより製作されたステンレス鋼材によって形成され、その表面が研磨されている。
請求項（抜粋）：
被測定流体の流路の一部を形成するダイアフラム部を有するセンサチップを備え、前記ダイアフラム部の前記流路側とは反対側の面に電気絶縁膜を介して流速検出手段を設けたフローセンサにおいて、前記センサチップは、通常の溶解法によって溶解・鋳造された鋼塊を真空誘導溶解法によって溶解・鋳造し、さらに真空アーク再溶解法によって溶解・鋳造することにより製作されたステンレス鋼材によって形成され、前記ダイアフラムの少なくとも前記流路側とは反対側の面が研磨されていることを特徴とするフローセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 5/10 Z
, G01F 1/68 104 C
