水性現像可能な感光性抵抗体組成物及び厚膜抵抗体の形成方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高木千嘉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-000352
公開番号（公開出願番号）：特開平8-186005
出願日： 1995年01月05日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】良好な電気特性を維持しつつ高い解像度を有する微細パターンの形成が可能な感光性抵抗体組成物を提供することである。【構成】 (a) 貴金属、ルテニウムの酸化物及びルテニウム系パイロクロア酸化物の少なくとも一種類の微細粒子 5〜50重量%、(b) 350°C〜825°Cのガラス転移温度及び0.1〜10μmの粒径を有する無機バインダーの微細粒子 5〜75重量%、および(c) 0.01〜10μmの粒径を有する金属酸化物および/またはフッ化物添加剤 0〜30重量%からなる無機固体分 30〜80重量%、および(d) 有機重合体バインダー、(e) 光開始剤、(f) 光硬化性モノマーおよび(g) 有機媒体からなる有機ビヒクル 70〜20重量%からなり、酸化性雰囲気または実質的に非酸化性雰囲気中で焼成可能な水性現像可能な感光性抵抗体組成物。

請求項（抜粋）：

(a) 貴金属、ルテニウム酸化物及びルテニウム系パイロクロア酸化物の少なくとも1種の微細粒子 5〜50重量%、(b) 350°C〜825°Cのガラス転移温度及び0.1〜10μmの粒径を有する無機バインダーの微細粒子 5〜75重量%、および(c) 0.01〜10μmの粒径を有する金属酸化物および/またはフッ化物添加剤 0〜30重量%、からなる無機固体分 30〜80重量%、および(d) 有機重合体バインダー、(e) 光開始剤、(f) 光硬化性モノマーおよび(g) 有機媒体からなる有機ビヒクル 70〜20重量%からなる、水性現像可能な感光性抵抗体組成物。

IPC (4件)：

H01C 7/00 , C09D201/00 PDC , H01B 1/20 , H05K 1/09

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平3-171690
特開昭59-097524
特開平3-205461

全件表示

前のページに戻る