特許

J-GLOBAL ID：200903081054548457

基準部形成装置

発明者： 徳島 忍
出願人/特許権者： 株式会社目白プレシジョン
代理人 (1件)： 津国 肇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-122510
公開番号（公開出願番号）：特開2003-316031
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】【課題】 複数の層を順に積層していく際に、下の層に形成された基準部を、視認できなかったり視認し難かったりするような場合であっても、下の層の平面内の位置と、その上に形成された上の層の平面内の位置とを、的確に対応させることができる基準部形成装置を提供する。【解決手段】 複数の層を透過し得る第1の光を照射することにより、複数の層のいずれかの層に形成された第1の基準部を検出し、第1の光の光軸上の位置に第2の光を照射して第2の基準部を形成する。

請求項（抜粋）：

積層された複数の層のいずれかの層に形成された第1の基準部に、前記複数の層を透過し得る第1の光を照射することにより生成される前記第1の基準部の像を検出する検出手段と、前記複数の層のうちの外表面の層において、前記第1の光の光軸上の位置に、第2の光を照射することにより、第2の基準部を形成する形成手段と、を含むことを特徴とする基準部形成装置。

IPC (2件)：

G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 9/00 Z ,  H01L 21/30 522 ,  H01L 21/30 525 G

Fターム (20件)：

2H097AA03 ,  2H097CA12 ,  2H097CA15 ,  2H097CA17 ,  2H097LA09 ,  5F046CA03 ,  5F046CB07 ,  5F046CB12 ,  5F046EA02 ,  5F046EA04 ,  5F046EA09 ,  5F046EA26 ,  5F046EB01 ,  5F046ED05 ,  5F046FA08 ,  5F046FA10 ,  5F046FB04 ,  5F046FB08 ,  5F046FC03 ,  5F046FC05