半導体製造装置における石英ボ-トの倒れ防止装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤武夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-042217
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234898
出願日： 1991年02月15日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】半導体デバイスの製造に用いるCVD装置において、キャリアに並べられたウェーハをロボットにより垂直に保持された石英ボートに移送積載する際、石英ボートが倒れるのを防止すると共に、ボートの倒れなどの検知手段を提供する。【構成】石英ボート6の上面に垂直な凹孔6aを開け、石英ボートが移送過程にあるときこの孔内にピストンロッド12の先端部が進入後退できる位置に配置された空気圧シリンダ組立体11などを設け、ピストンロッド12の先端を下降させ石英ボート6上面の垂直孔6a内に挿入して石英ボートの倒れを防止できる。さらに光センサを作動ロッドに取付けたり、また作動ロッド自体を可撓性材料で構成し、石英ボートの変動によるロッドの弾性変形を歪ゲージなどにより検出する力センサとすることにより、石英ボートの倒れなど検知する。

請求項（抜粋）：

化学気相成長技術により半導体デバイスを製造する半導体製造装置であって、その内部に配置され高純度シリコンの薄膜基体であるウェハーの複数個を、ロボットなどの移送手段を介して受領して内部に収容し、昇降装置などを介して加熱炉内に挿入されて化学気相成長の処理を受け、処理の終了後は前記の炉から取り出される直立型石英ボートを有する半導体製造装置において、前記半導体製造装置には、前記石英ボートが前記の移送手段からウェハーを受領する位置の上方に前記石英ボートの軸線と同軸に往復動するロッドを有する作動装置が設けられを、前記石英ボートは、その頂面に軸線と同心で前記作動装置のロッドが進入可能な凹孔を有し、前記ロッドが前記凹孔内に進入した状態で移送操作の過程での倒れが防止されることを特徴とする半導体製造装置における石英ボートの倒れ防止装置。

IPC (2件)：

H01L 21/205 , B65G 61/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-082520
特開昭55-098335
特開平2-082521

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