特許

J-GLOBAL ID：200903081056474140

磁気研磨方法

発明者： 土屋 和博
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-200740
公開番号（公開出願番号）：特開平5-042476
出願日： 1991年08月09日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】 本発明の磁気研磨方法は、強磁性材粒子と研磨砥粒を別体とすることにより、磁気研磨装置の大幅な小型化と研磨工程の自動化、並びに均一な研磨面を得ることを目的とする。【構成】 ヨーク、励磁コイル、電源、被研磨物と対面する磁極、強磁性体粒子、油性ワックス等で固められた研磨砥粒、より構成され、被研磨物と対面する磁極間に磁界を発生させながら、被研磨物と磁極を相対的に揺動させる磁気研磨方法において、油性ワックス等を混合した研磨砥粒を、強磁性体粒子と別体で磁極と被研磨物間に充填したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ヨーク、励磁コイル、電源、被研磨物と対面する磁極、強磁性体粒子、油性ワックス等で固められた研磨砥粒、より構成され、励磁コイルに電圧を印加し、被研磨物と対面する磁極間に磁界を発生させながら、被研磨物と磁極を相対的に回転あるいは揺動させる磁気研磨方法において、被研磨物表面に油性ワックス等で固めた研磨砥粒を塗布し、強磁性体粒子を研磨砥粒と別体で、磁極と被研磨物との間隙に充填したことを特徴とする磁気研磨方法。